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技术问答

精密工艺对环境有哪些严格要求?
发布时间 : 2018-07-26 14:36 浏览量 : 48

1:保持温度恒定(控制在22oC-24oC,温差1-2oC之内)


2:保持湿度恒定(控制在50%RH,精度3%~5%RH之内)


3:空气洁净度0.5微米/升 < 18,000


4:换气次数 / 小时 > 30


5:新风量 30m3 / 人.小时


6:机房正压 > 10 Pa


无尘车间

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精密空调维修保养方案
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